半导体行业废气处理解决方案

芯片厂在晶圆芯片生产过程中产生的酸碱废气。首先通过系统负压支管收集(hookup,SScoating),并汇总到主管(PP风管),最后由集气管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)进入PP洗涤塔进行洗涤处理,最后由PP风机抽取经PP烟囱高空排放。

PP排气管道

PP洗涤塔

PP风机

洗涤塔安装施工图(黑色为PE烟囱部分)

PP烟囱高空排放