半导体行业废气处理解决方案
芯片厂在晶圆芯片生产过程中产生的酸碱废气。首先通过系统负压支管收集(hookup,SScoating),并汇总到主管(PP风管),最后由集气管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)进入PP洗涤塔进行洗涤处理,最后由PP风机抽取经PP烟囱高空排放。
PP排气管道
PP洗涤塔
PP风机
洗涤塔安装施工图(黑色为PE烟囱部分)
PP烟囱高空排放
芯片厂在晶圆芯片生产过程中产生的酸碱废气。首先通过系统负压支管收集(hookup,SScoating),并汇总到主管(PP风管),最后由集气管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)进入PP洗涤塔进行洗涤处理,最后由PP风机抽取经PP烟囱高空排放。
PP排气管道
PP洗涤塔
PP风机
洗涤塔安装施工图(黑色为PE烟囱部分)
PP烟囱高空排放